Kaleo MultiWAVE动态干涉仪
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Kaleo MultiWAVE动态干涉仪

       Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。

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商品描述

       Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。


主要特点

紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制

单台干涉仪可集成多个工作波长

纳米级相位分辨率

超高动态范围 (>500 条纹数)



产品规格

系统指标


光学系统结构双通路
测量能力反射波前面型测量,或透明光学元件双透射测量
单台集成工作波长数量标准1或2工作波长,最高可定制8工作波长
定制波长193nm至14µm范围内任意波长,包含紫外波段266 nm、355nm、405nm,可见光及近红外波段550nm、625nm、780nm、940nm、1050nm,短波红外/中红外/远红外 1.55µm、2µm、3.39µm、10.6µm等
有效口径5.1英寸(130mm)
光学中心高度108mm
对准系统实时相位及泽尼克系数显示
系统偏振兼容消偏光学器件
视场角对准范围+/- 2°
可调对焦范围+/- 2.5 m
尺寸重量910 x 600 x 260 mm³, 约25 kg
抗震性无需隔震


性能指标 (1)


RMS重复性 (2)< 0.7 nm (< λ / 900)
可测反射率范围4% - 100%


(1) 四英寸口径,使用625 nm光源

(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量,每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值,加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。