SID4-UV波前传感器
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SID4-UV波前传感器

       作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，SID4-UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。

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商品描述

       作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器，SID4-UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。

主要特点

250 x 250超高相位取样分辨率

2 nm RMS高相位灵敏度

紫外波段波前测量的通用解决方案


产品规格

波长范围250 - 400 nm
靶面尺寸7.4 x 7.4 mm²
空间分辨率29.6 µm
取样分辨率250 x 250
相位分辨率2 nm RMS
绝对精度10 nm RMS
取样速度30 fps
实时处理速度*> 2 fps (全分辨率下)*
接口种类以太网口
尺寸（宽x高x长）45 x 30 x 100 mm³
重量约250g

    *使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下