基于Phasics的独家专利技术,SID4 UV-HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355x280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV-HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。
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主要特点
最低至190nm波长感光灵敏1 nm RMS高相位灵敏度355 x 280超高相位取样分辨率
最低至190nm波长感光灵敏
1 nm RMS高相位灵敏度
355 x 280超高相位取样分辨率
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