Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。
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主要特点
紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制单台干涉仪可集成多个工作波长纳米级相位分辨率超高动态范围 (>500 条纹数)
紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制
单台干涉仪可集成多个工作波长
纳米级相位分辨率
超高动态范围 (>500 条纹数)
产品规格
系统指标
性能指标 (1)
(1) 四英寸口径,使用625 nm光源
(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量,每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值,加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。
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