作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器,SID4-UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。
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主要特点
250 x 250超高相位取样分辨率2 nm RMS高相位灵敏度紫外波段波前测量的通用解决方案
250 x 250超高相位取样分辨率
2 nm RMS高相位灵敏度
紫外波段波前测量的通用解决方案
产品规格
*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下
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